HG-EM激(ji)光橢(tuo)(tuo)偏儀是針對光伏太陽(yang)(yang)能電池高端研(yan)發(fa)和質量控制領域推出的極致(zhi)型(xing)多入射角激(ji)光橢(tuo)(tuo)偏儀。可(ke)廣泛應用于晶體硅太陽(yang)(yang)電池、薄膜太陽(yang)(yang)電池等。

HG-EM激光橢偏儀用于測(ce)量(liang)絨(rong)面單(dan)晶硅或多晶硅太陽(yang)電(dian)池(chi)表面減反(fan)膜鍍層(ceng)的(de)(de)厚度(du)以(yi)及(ji)在632.8nm下的(de)(de)折(zhe)射率(lv)n。也可測(ce)量(liang)光滑(hua)平面材料上的(de)(de)單(dan)層(ceng)或多層(ceng)納米薄膜的(de)(de)膜層(ceng)厚度(du)，以(yi)及(ji)在632.8nm下折(zhe)射率(lv)n和消光系數(shu)k。

典型納米膜層包(bao)(bao)括(kuo)SiNx，ITO，TiO2，SiO2，Al 2O3，HfO2等。應用(yong)領域包(bao)(bao)括(kuo)半導體、微(wei)電子、平板顯(xian)示等。HG-EM激光橢偏儀(yi)融合多項技術，采用(yong)一(yi)體化(hua)樣(yang)品臺技術，兼(jian)容測量單(dan)(dan)晶和多晶太(tai)陽電池樣(yang)品，并實現二者的輕松轉換。一(yi)鍵式多線(xian)程操作(zuo)軟件，使得儀(yi)器操作(zuo)簡(jian)單(dan)(dan)安(an)全。

特點：

★ 粗糙(cao)絨面納米薄膜的高(gao)靈敏測量

★ 原子層量級的極高靈敏度和準確度

★ 百毫秒量級的快速測量

★ 簡單方便安全的儀器操作

★ 一鍵式操作

技術指標：