衡以值 工(gong)于用 衡工(gong)量值 提高(gao)效(xiao)率
·平面不大于0.05mm/m
·表(biao)面粗(cu)糙度小于0.8um
·固有頻率(lv)垂直(zhi)1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz
·振幅不大于1.2um
·重復定(ding)位精度±0.05mm
衡(heng)工隔振平臺選(xuan)型參數表