當今科(ke)學(xue)界的(de)(de)(de)(de)科(ke)學(xue)實驗(yan)需要(yao)越來(lai)越精(jing)密的(de)(de)(de)(de)計(ji)算和測(ce)量,因此一個(ge)能(neng)與外(wai)界環境和干(gan)擾相對隔(ge)離的(de)(de)(de)(de)設備儀器對實驗(yan)的(de)(de)(de)(de)結(jie)果測(ce)量時(shi)非常重要(yao)的(de)(de)(de)(de)。能(neng)夠固定各種(zhong)光學(xue)元件以(yi)及(ji)顯微鏡(jing)成像設備等的(de)(de)(de)(de)光學(xue)平(ping)(ping)臺也(ye)成為科(ke)研實驗(yan)中必(bi)備的(de)(de)(de)(de)產品(pin)。光學(xue)平(ping)(ping)臺最(zui)主要(yao)的(de)(de)(de)(de)一個(ge)目標(biao)是消除平(ping)(ping)臺上(shang)任意(yi)兩個(ge)以(yi)上(shang)部件之間(jian)的(de)(de)(de)(de)相對位移。
光學平臺或(huo)(huo)面(mian)包板最重要的(de)(de)特性(xing)為其共振(zhen)頻率(lv)(lv)。共振(zhen)頻率(lv)(lv)和(he)振(zhen)幅是負相關的(de)(de),因此共振(zhen)頻率(lv)(lv)應盡可能地增(zeng)大(da),從而將振(zhen)動(dong)(dong)強度(du)最小(xiao)化(hua)。平臺和(he)面(mian)包板會在一(yi)個特定(ding)(ding)的(de)(de)頻率(lv)(lv)范(fan)圍(wei)內發生振(zhen)動(dong)(dong)。為了改(gai)善(shan)性(xing)能,每種尺(chi)(chi)寸(cun)的(de)(de)平臺和(he)面(mian)包板的(de)(de)阻(zu)尼效(xiao)果(guo)都需(xu)(xu)要進(jin)(jin)行(xing)優(you)化(hua)。平臺阻(zu)尼需(xu)(xu)要進(jin)(jin)行(xing)各種測試(shi),對其厚度(du)/面(mian)積的(de)(de)比值進(jin)(jin)行(xing)優(you)化(hua)。更(geng)(geng)(geng)大(da)面(mian)積的(de)(de)平臺(邊(bian)長至少(shao)為10英尺(chi)(chi)或(huo)(huo)3米(mi))具有厚度(du)為12.2英寸(cun)(310毫米(mi))的(de)(de)標(biao)準(zhun)厚度(du),這(zhe)樣可以提高穩定(ding)(ding)性(xing)。對于更(geng)(geng)(geng)小(xiao)面(mian)積的(de)(de)平臺,厚度(du)可以是8.3英寸(cun)(210毫米(mi))或(huo)(huo)12.2英寸(cun)(310毫米(mi)),也可定(ding)(ding)制(zhi)更(geng)(geng)(geng)大(da)尺(chi)(chi)寸(cun)。
光學(xue)平臺最(zui)廣泛(fan)使用的(de)(de)(de)振動響應傳遞(di)函數為(wei)柔(rou)量(liang)(liang)。在(zai)(zai)(zai)恒定(ding)(靜態)力的(de)(de)(de)情(qing)況下(xia),柔(rou)量(liang)(liang)可(ke)以(yi)定(ding)義為(wei)線(xian)性或(huo)角度錯(cuo)位與所施加(jia)外力的(de)(de)(de)比值。在(zai)(zai)(zai)動態變化(hua)力(振動)的(de)(de)(de)情(qing)況下(xia),柔(rou)量(liang)(liang)則(ze)可(ke)以(yi)定(ding)義為(wei)受(shou)激(ji)振幅(角度或(huo)線(xian)性錯(cuo)位)與振動力振幅的(de)(de)(de)比值。平臺的(de)(de)(de)任意(yi)撓度都(dou)可(ke)以(yi)通過安裝在(zai)(zai)(zai)平臺表面的(de)(de)(de)部件相(xiang)對(dui)位置變化(hua)表現出來。因此,根據定(ding)義,柔(rou)量(liang)(liang)值越小,光學(xue)平臺就(jiu)越接近設(she)計的(de)(de)(de)首要目標:將撓度最(zui)小化(hua)。柔(rou)量(liang)(liang)是(shi)與頻(pin)率相(xiang)關的(de)(de)(de),其測量(liang)(liang)單位為(wei)沒單位力的(de)(de)(de)錯(cuo)位量(liang)(liang)(米/牛頓)。
使用脈(mo)沖錘對平(ping)臺(tai)或面(mian)(mian)包板的表(biao)面(mian)(mian)施加一個(ge)已測(ce)量(liang)的外力,并將一個(ge)傳感器貼合(he)在(zai)平(ping)臺(tai)或面(mian)(mian)包板表(biao)面(mian)(mian)對合(he)成(cheng)振動進行測(ce)量(liang)。
探測器(qi)發(fa)出的(de)信號通過分析儀進(jin)行讀取(qu),并(bing)用(yong)于產生頻率響應(ying)譜(pu)(即柔量曲線(xian)(xian))。在光學平(ping)(ping)(ping)臺(tai)的(de)研發(fa)過程中,對平(ping)(ping)(ping)臺(tai)表面上(shang)很多點的(de)柔量曲線(xian)(xian)進(jin)行記錄(lu);但(dan)是,平(ping)(ping)(ping)臺(tai)四(si)個(ge)角上(shang)的(de)柔量往往都是最大的(de)。因此公(gong)司發(fa)布的(de)柔量曲線(xian)(xian)和數據(ju)都是通過平(ping)(ping)(ping)傳感器(qi)在臺(tai)四(si)個(ge)角上(shang)測得的(de),因此說(shuo)明了最不理想情況下的(de)數據(ju)結果。