隨著先進的設備和工藝的發展，使納米(mi)(mi)量(liang)(liang)級的測量(liang)(liang)成(cheng)為可(ke)能。例如，變相光學干涉儀測量(liang)(liang)物體(ti)的表面(mian)粗糙度，目前可(ke)以達(da)到1納米(mi)(mi)的分辨率(lv)。在(zai)半導(dao)體(ti)領域，已生產出線(xian)寬(kuan)在(zai)亞(ya)微(wei)米(mi)(mi)量(liang)(liang)級的集成(cheng)電路，提(ti)出測量(liang)(liang)準確率(lv)小于50納米(mi)(mi)的精度要求(qiu)。

　　這樣(yang)的應用對系(xi)統(tong)中不同元件相關配合精度和穩(wen)定性提出了極高的要(yao)求(qiu)。

　　例如(ru)(ru)(ru)，用(yong)顯微鏡(jing)對圖像進(jin)行高度(du)放大的(de)(de)(de)成(cheng)像系統，顯微鏡(jing)和照像物(wu)鏡(jing)共同決(jue)定了(le)相紙(zhi)上(shang)每點的(de)(de)(de)圖像。如(ru)(ru)(ru)果(guo)，在(zai)曝光過程(cheng)中光學(xue)系統的(de)(de)(de)每一(yi)部分(照明系統、樣品、顯微鏡(jing)光學(xue)系統、成(cheng)像光學(xue)系統和相紙(zhi)平(ping)面)都精確地一(yi)同移動(dong)，不存在(zai)相對位移，成(cheng)像也會很清晰。如(ru)(ru)(ru)果(guo)樣品相對物(wu)鏡(jing)產生了(le)運(yun)動(dong)，則像就會模糊(hu)。在(zai)光學(xue)干涉測(ce)量、全息及(ji)運(yun)用(yong)相似的(de)(de)(de)規(gui)律(lv)時(shi)，控制(zhi)相對運(yun)動(dong)都是很重(zhong)要(yao)的(de)(de)(de)。

　　在一(yi)個理想(xiang)的(de)剛(gang)性體(ti)內部(只在理論(lun)上(shang)存在)，任何兩點的(de)相(xiang)對(dui)位置都(dou)是不變的(de)。也(ye)就是說，在振動、靜力(li)矩(ju)或溫度(du)變化(hua)的(de)情(qing)況下，任何實體(ti)的(de)尺寸和形狀(zhuang)都(dou)是不變的(de)。如果所(suo)有的(de)元件都(dou)穩(wen)固地連接成一(yi)個理想(xiang)的(de)剛(gang)性體(ti)，不同元件之間沒(mei)有相(xiang)對(dui)位移(yi)，系統的(de)性能也(ye)會很(hen)穩(wen)固。

　　理想的(de)(de)(de)(de)剛性(xing)體是(shi)不存在(zai)的(de)(de)(de)(de)。現實(shi)中的(de)(de)(de)(de)系統(tong)只能近似的(de)(de)(de)(de)認為是(shi)剛性(xing)的(de)(de)(de)(de)，因(yin)此，其(qi)穩定(ding)性(xing)就要受到多方面因(yin)素的(de)(de)(de)(de)影響(xiang)。例如外(wai)界的(de)(de)(de)(de)振源，系統(tong)的(de)(de)(de)(de)重量，光學(xue)平(ping)臺(tai)的(de)(de)(de)(de)結構等等。

　　為了(le)提高(gao)系統的(de)穩定性(xing)，我們可以(yi)從以(yi)下的(de)幾(ji)個方面(mian)來著(zhu)手。

　　1.將系統與振源隔離。

　　外(wai)界的(de)振源(yuan)來(lai)源(yuan)很多，比如(ru)地面(mian)的(de)自(zi)振，各種(zhong)聲音等(deng)等(deng)。但(dan)是影響最大的(de)是各種(zhong)低頻(pin)(pin)的(de)振源(yuan)，主要集(ji)中在10～100Hz頻(pin)(pin)率內。將(jiang)系統(tong)與(yu)這些振源(yuan)隔離(li)可(ke)以有效的(de)提高(gao)系統(tong)的(de)穩定性。采用大阻尼的(de)空(kong)氣(qi)彈簧支撐方式可(ke)以較好的(de)將(jiang)系統(tong)與(yu)振源(yuan)隔離(li)。

　　2.控制振動的作用。

　　將系統組裝成(cheng)動態的剛性(xing)(xing)結構可(ke)以保證系統內部(bu)的相對穩定性(xing)(xing)，且(qie)可(ke)以降低(di)在外界(jie)的影響下產生共(gong)振(zhen)的幾率，提高系統的穩定性(xing)(xing)

　　3.控制靜力矩的作用。

　　光(guang)學平(ping)臺(tai)的(de)硬(ying)(ying)重(zhong)比(bi)(bi)對(dui)于其共振頻(pin)率有著重(zhong)要的(de)影(ying)響。較(jiao)高的(de)硬(ying)(ying)重(zhong)比(bi)(bi)可(ke)以提(ti)高平(ping)臺(tai)的(de)共振頻(pin)率，從而(er)降低其在外界影(ying)響下的(de)振動。而(er)且在外力作用(yong)下，具(ju)有較(jiao)高硬(ying)(ying)重(zhong)比(bi)(bi)的(de)平(ping)臺(tai)可(ke)以在最小的(de)重(zhong)量下產生最小的(de)變形，增加(jia)系統(tong)內(nei)部(bu)的(de)剛性。內(nei)部(bu)采用(yong)蜂窩(wo)狀(zhuang)支撐結(jie)構(gou)的(de)光(guang)學平(ping)臺(tai)可(ke)以充分(fen)的(de)提(ti)高硬(ying)(ying)重(zhong)比(bi)(bi)，達到提(ti)高系統(tong)性能的(de)目的(de)。

　　4.控制溫度變化。

　　隨著時間的(de)延續，不規(gui)則溫(wen)度(du)(du)變(bian)化會造成漸漸的(de)結構彎曲。減小溫(wen)度(du)(du)效應(ying)的(de)關鍵在(zai)于控(kong)制環境減少溫(wen)度(du)(du)變(bian)化。例如，避免在(zai)平臺下放置散(san)熱設備(bei)，隔絕熱源設備(bei)和硬(ying)件，如光(guang)源、火焰等。

　　5.盡可能將臺面設計成對溫度不敏感的。

　　良好的(de)熱(re)(re)傳導(dao)性可起(qi)到作用(yong)，然而(er)，在極(ji)端特殊的(de)應用(yong)中，選(xuan)用(yong)不隨溫(wen)度(du)變(bian)(bian)化而(er)改變(bian)(bian)外形尺寸(cun)的(de)特殊材料是必要(yao)的(de)。例如超不脹(zhang)(zhang)鋼，具有極(ji)小(xiao)的(de)熱(re)(re)膨(peng)脹(zhang)(zhang)系(xi)數。一米長(chang)的(de)超不脹(zhang)(zhang)鋼在溫(wen)度(du)變(bian)(bian)化1K時膨(peng)脹(zhang)(zhang)長(chang)度(du)約0.2微米。

　　我(wo)們提供的(de)光學平臺采用表面鐵(tie)磁不銹(xiu)鋼(gang)，芯部蜂窩結(jie)構支撐的(de)結(jie)構。這種結(jie)構，不但充分的(de)發揮了(le)(le)鐵(tie)磁不銹(xiu)鋼(gang)材料剛性好，溫度膨脹(zhang)系(xi)(xi)數小(xiao)，耐腐蝕的(de)優點，而且(qie)提高(gao)了(le)(le)平臺的(de)硬重比(bi)，增(zeng)加了(le)(le)剛性，降低了(le)(le)變形(xing)量，提高(gao)了(le)(le)抗(kang)靜(jing)力矩能力。而且(qie)鐵(tie)磁不銹(xiu)鋼(gang)耐腐蝕，能吸附磁性底座，可(ke)以方便的(de)搭建各種光學系(xi)(xi)統。適(shi)用于承(cheng)載(zai)較大，對抗(kang)振性要求較高(gao)的(de)系(xi)(xi)統。

　　我們提供的(de)(de)光(guang)學平板采用優質鋁(lv)材制造(zao)。與鋼材相比(bi)，鋁(lv)材硬(ying)重(zhong)比(bi)大，有一定(ding)的(de)(de)抗振性(xing)(xing)，溫(wen)(wen)度傳(chuan)導性(xing)(xing)好，不良環境中溫(wen)(wen)度形變小，陽(yang)極氧化后(hou)美觀，耐(nai)磨，但是(shi)鋁(lv)材的(de)(de)剛性(xing)(xing)較差，無法承載(zai)較大的(de)(de)重(zhong)量。因此一般用于承載(zai)較小的(de)(de)系統(tong)種(zhong)。而且不宜懸(xuan)空(kong)支撐。